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无图小说网 -> 都市言情 -> 全球制造 二将

第259章 突破14nm光刻机工艺

    华达九天兴师动众的招聘启事并没有引起业界轰动,因为EDA的盘子实在是太小了。

    2021年,全球半导体产业销售额达5188亿美元,然而作为芯片基础的EDA产业却只有区区70亿美元左右,简直令人难以置信。

    而中国EDA销售额在这70亿美元里面,更是连1%都没有占到。

    这种情况下,外国巨头根本懒得关心中国EDA的发展情况。

    就算再折腾又能怎么样?

    而且话说回来了,要知道任何EDA软件都是和市场挂钩的,EDA是上游厂商、设计厂商、制造厂商、封测厂商合作的产物,任何一个环节落后或缺失,都会对EDA工具有影响。

    举个最简单的例子,国外最先进的EDA软件可以设计、仿真、验证5nm甚至3nm的芯片,国内的EDA呢?目前还徘徊在28nm左右,差距就像地球到月球这么远。

    就在国外EDA企业不以为然之际,中国的EDA软件,在时隔三十年后,再次扬帆起航了。

    ……

    4月18号上午九点,中海自贸区张东路1525号。

    这里是中海微电子装备有限公司(SMEE)总部,同时中星微电子装备股份有限公司(XHZZ)研发基地也设立在这里。

    此时,单层面积超过5000平方米的大型实验室里,无数身穿白色无尘服的研究员正在忙碌着,还有很多类人机器人也在自由的穿梭其中,带给人一种科幻大片现场的视觉冲击!

    就在这时,实验室挑高的二层参观台上涌出一大群人,老中青都有。

    被众人簇拥在最前面的三人分别是GWY下来考察调研的首长,SMEE董事长孙立群以及陈序。

    孙立群介绍道:“这些机器人全部是星海科技研发制造的特种工业机器人……

    光源系统、摄像光学系统、调焦扫描系统、视频采集系统和监测软件等等,也是由星海科技独家研发,并且拥有全部知识产权……”

    “了不起啊!难怪网上都说星海是中国科技的未来之星。”

    陪同着一起超前的陈序,谦虚道:“总L过奖了,我们还有很多不足的地步。”

    首长亲切的拍拍他肩膀,然后顺着参观台上设立的透明甬道朝前走去,边走边看,同时问道:“那目前主要还有哪些困难呢?”

    “主要就是机械精度方面有待提高…它里面有两个同步运动的工件台,一个载底片,一个载胶片,两者需要始终同步,误差要在2nm以下,而两个工作台由静到动,加速度跟导弹发射差不多……”

    孙立群抢着介绍了一番后,首长转头问右侧的陈序,“小陈你估计多长时间能研制成功?”

    陈序组织了一下语言说:“如果一切顺利的话,大概今年底吧!”

    说完陈序又跟到:“因为是第一次做没经验,再加上一些关键性的零部件被卡了脖子,只能通过自主研发。不过等到7nm时应该会很轻松。”

    首长闻言有些讶异道:“7nm?”

    孙立群再次抢着介绍道:“总L您没听错,正是7nm。

    我们和星海在研发14nm以及10nm的同时也在布局7nm,而且我们的7nm技术跟国外的稍稍有些不同……”

    首长听完后点点头,再次伸手拍拍陈序的手臂,“嗯,你是好样的!”

    陈序被夸的有些不好意思了,呵呵笑着没说话。

    一个小时后,下来考察调研的领导及随行人员乘坐考斯特离开了,陈序回到办公室直接瘫坐在了沙发里,说:“感觉比做十天实验还累。”

    跟进来的中星微电子总负责人张海春,笑呵呵道:“一般搞学术的人,都不怎么喜欢这种场合,等以后习惯了应该会好一些。”

    张海春是光刻机领域的大牛级人物,曾先后在ASML及台积电工作,甚至还被SMEE聘请为高级总工程师,不过后来因为某些原因离职了。

    他在国际学术圈的地位比周东林还牛掰。

    “呵呵,也许吧。”陈序说着坐起来点了一根烟,“超精密工件台的实验怎么样了?”

    “不怎么理想,目前实验最多只能到5nm,距离要求的2nm还有一定的差距,德国跟日苯那边……”

    陈序听了一会,然后一把把香烟摁灭,起身道:“走,带我过去看看。”

    光刻机和别的设备不一样,它里面大部分零部件都需要专门定制。

    什么意思呢,就是你想在市场上买配件来组装都不可能。

    而越高端定制的比例也越高,到了10nm这个级别,里面90%以上都是定制的。

    且不是你想定制就能定制的,得看上游厂商愿不愿意接你的订单。

    他之前花高价从荷兰买配件,就是因为那些配件如果全部自己生产的话,先不说短时间能不能生产出来,就算能做出来,价格也要贵上十倍都不止!

    不过以后不行了,欧美日韩对星海进行了全面的技术封锁,荷兰那边已经pass掉XHZZ的订单申请。

    不仅仅是荷兰,德国跟日苯那边的零部件订单也毁约了,导致最关键的超精密工件台一直不能达到满意要求。

    来到实验室,陈序控制机器人调校超精密工件台,而小白则根据电脑上的反馈结果重新编写控制程序。

    一遍、两遍、十遍……

    这一做就是十二小时,饿的实在撑不住了才出去吃一点,然后继续全身心的投入到实验中来。

    超精密机械的调校是非常耗费时间精力的,像米国Cymer、德国蔡司的工程师对每一个部件的调校次数都有可能高达十年以上。

    当然,陈序不可能像那些工程师一样,花费十年去调校一个零部件,也不需要。

    小白会帮他省去百分之九十九的步骤。

    半个月后,经过陈序废寝忘食的工作,把超精密工件台的精度调校到了3nm。

    这是一个具有里程碑纪念意义的时刻!

    因为3nm的超精密工件台已经满足了14nm光刻机的制备工艺要求。

    从这一刻起,中国算是全面掌握了14nm光刻机的制造技术。

    上百名工程师全部围了过来,看着模拟机上的超精密工件台高速运行着,很多人眼睛里泛起了泪花。

    偌大的实验室里响起了热烈的掌声。

    “啪啪啪……”

    多少年了,中国一直嚷着制造“中国芯”,但是因为造不出来尖端光刻机,这个梦想只能停留在幻想之中。

    在机械、通讯设备、企业金融、航空航天等核心领域,不得不大量采用国外的芯片。

    而众所周知,芯片是可以开后门的,而且是非常容易的事情。

    最危险的就是只要不拔电池,通过芯片后门你所有的动作、所有的信息别人都可以轻易获取,而且你还不知道。

    举个最简单的例子,智能手机一般都装有GPS芯片,即使关机了也可以定位。

    张海春博士看着电脑上运行的数据,膀激动的说:“好啊…好!实在是太好了!”

    陈序面带笑容说:“还是差了点!不过差不多到极限了,想达到10nm的制备工艺,只能从硬件上想办法了。”

    “已经非常厉害了……”

    现场工程师个个都以崇拜的眼神看着陈序。

    很快SMEE的董事长孙立群,以及鲁嘉荣博士都是闻讯赶来,看到运行数据都是兴奋的恨不得手舞足蹈。

    “实在是太好了!”孙立群说着朝实验室大门口跑去了,看样子是去打电话给上级部门报喜了。

    鲁嘉荣博士激动到眼泪都下来了,紧紧搂着陈序的肩膀,看着模拟机上高速运转的工件台,语无伦次道:“陈工……你…好啊……”